●自己冷却システム
●不純物収集システム
●セルフポジショニングシステム
●角度付きプロファイル
自己冷却システムのおかげで、処理された基板を過熱することなく、高速で強い圧力でも
作業することができます。
穴あけシステムのおかげで、研磨ペーストの残りの部分と表面に存在する不純物を捕捉す
ることができます。
特別な位置決めシステムのおかげで、パッドはパッドの中央に完全にフィットします。
特定の外角のおかげで、異なる傾斜の領域に影響をあたえることなく曲面で作業することが可能です。
